發(fā)布時間：2020-02-24 來源：原創(chuàng)
一、測量精確度“納米邵氏A型”
得益于最佳化的測試系統(tǒng)，1.4.1至1.4.7節(jié)中提到的精度公差被最小化。關于第1.4.5條規(guī)定的測量，小于±0.1邵氏An值的超高測量精度是可實現的。
測量過程中，應對測量裝置上的樣品的垂直運動進行控制和校正。傾斜的運動將會導致測量誤差。
與提到的標準邵氏A測量相比，為了得到完全相同的評估時間和壓入條件，下降速度應為50mm/min。
二、壁厚小于0.5 mm的測量
對于測量和驗證非常薄的厚度為50μm的零件和涂層，可以減小壓入深度和測量力值。標準測量里的最大深度為268.3μm，可以減少10％的增量，達26.83μm。
因此，層厚為50μm是可以測量的。盡管該結果并不符合邵氏A的特征。通過邵氏標準測量方法，與降低壓入深度測量后的對比測量，測量結果可以追
溯到邵氏A值。由于壓入路徑為總壓入路徑的10％，因此分辨率降低了10倍。
